使用氬離子束轟擊樣品表面進(jìn)行樣品加工，用其他方法難以制備的樣品，軟硬材質(zhì)混合的復合材料，都能夠制備出完美光滑的截面。除了表面極為平整外，被加工區域變形小、損傷小、無(wú)異物介入、結構無(wú)破壞是其主要特點(diǎn)。
常用于樣品內部結構觀(guān)測或內部組分分析樣品的處理。

旭陽(yáng)合作品牌：日本電子